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最新消息| 多孔陶瓷真空吸盤的用途 | 2023-11-14 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=fsaygjUEHYJNuA8tbY38tju0xaY6MhvNFFJXgk7NYMaxhIyQupOgxIqewqkijaryAoLd7uxvw-Di2OwXsRjAeEUmgexLAizdxP4I6yVhRpq" 半導體材料硅片，是一種很薄的硬脆材料，它的兩個面都要進行磨削、拋光等加工。對這種工件的定位夾緊通常采用真空吸盤來吸附。nn傳統的真空吸盤存在如下缺點：nn底座全部采用整體的精細密實陶瓷，當多孔陶瓷板經磨削修整到一定厚度而不能再用時，密實陶瓷底座隨之報廢，精細陶瓷材料利用率低，真空吸盤的材料成本高；整體的密實陶瓷底座結構較復雜，需要加工裝配多孔陶瓷板的沉孔，以及安裝用的定位孔和面，而且加工精度要求較高，陶瓷可加工性差，加工費時費力，所以吸盤的制造成本高；陶瓷脆性大，以陶瓷作為底座直接與機床工作臺連接，容易產生破碎損壞。nn目前，常用的真空吸盤是由兩種陶瓷材料粘接而成。nn其中，傳遞真空的部分使用多孔陶瓷板，多孔陶瓷的微孔孔徑為2～50μm；多孔陶瓷板裝配在底座的沉孔中，其周邊與底座粘結密封；底座是不透氣的密實陶瓷材料加工而成。兩部分陶瓷雖然在材質上不同，但它們有相近的耐磨性和其它機械性能，這樣才能使陶瓷吸盤表面經磨削修整后能達到所要求的平整度。nn 關鍵字標籤：真空吸盤生產 |
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